Laserscale

光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール

レーザスケールは、1nmを超える高分解能の計測及び制御を容易に実現します。基準となるスケールは、ホログラム方式により達成される微細な格子と、外乱に対して安定で取付けやすさを実現した検出ヘッドにより、 信号波長が138nmの高S/Nの信号を得ることができます（BSシリーズ）。さらに、自動補正機能をもつインターポレータを使用することで、17pm（17×10^-6μm）までの超高分解能を得ることができ、 ナノメートルからピコメートルを容易に得ることができます。

Magnescale

結露、油に強い

マグネスケールは、磁気式の検出原理を採用しているため、工作機械に不可避の結露や油の影響をうけず、厳しい環境下でも安定した高い精度を得ることが可能です。

耐振動、耐衝撃性

マグネスケールは、検出部を保護するためのケース材料として主に鉄製の部材を使用しているため、高い耐振動特性、耐衝撃特性を実現しています。さらにSR80シリーズでは、高剛性ケースに加え多点固定構造を採用しており、業界トップクラスの耐振動性、耐衝撃性を実現しています。

Digital Gauge

耐環境性が高い

マグネスケールと同様、磁気式の検出原理のため、厳しい環境下で安定しています。またスチール製の部材を使用しているため、耐久性が高いのが特徴です。