製品情報
BS78
光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール。高速・高分解能、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。
BH20
高精度、高分解能、高速応答で、小型・反射型の回転レーザスケール。HDD製造装置、精密測定器、非球面加工機などの高分解能角度計測に最適。
BD96
最高分解能17pm(BSシリーズ組合せ時)。各種シリアル及びバイナリ出力に対応。
SR87
優れた耐久性に加え、さらなる高精度化、高速応答化を実現した高剛性磁気式アブソリュートスケールです。
RU77
耐久性に優れた高精度アブソリュート回転マグネスケール。あらゆる回転ステージの位置決めに最適です。
SL130
取付け容易で30 mまでの長尺が可能な非接触デジタルスケール。
